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金融界2025年2月14日新闻，国度常识产权局消息显示，上海集成电道设备资料资产立异中央有限公司博得一项名为“一种晶圆冲洗装配”的专利，授权通告号CN 222469878 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本适用新型供应了一种晶圆冲洗装配，席卷冲洗机构、动弹机构和测速器；所述动弹机构用于安置晶圆并可鼓动所述晶圆动弹，且所述晶圆的边沿拥出缺口；所述冲洗机构设于所述动弹机构的两侧，用于对所述晶圆的正面和反面举办冲洗；所述测速器接近所述动弹机构设备，且所述测速器对应所述晶圆的边沿，用于检测所述缺口的地方以获取所述晶圆的转速。正在本适用新型供应的晶圆冲洗装配通过正在动弹机构的邻近设备测速器用于检测晶圆的转速，以降低晶圆正在冲洗时其转速检测具体切性，从而保障了职责职员鉴定晶圆冲洗恶果具体切性，以便职责职员实时的调度晶圆冲洗时的最佳转速，降低晶圆的冲洗恶果。
天眼查原料显示，上海集成电道设备资料资产立异中央有限公司，建立于2020年，位于上海市，是一家以从事软件和消息身手供职业为主的企业。企业注册本钱1150000万黎民币。通过天眼查大数据判辨，上海集成电道设备资料资产立异中央有限公司加入招投标项目64次，常识产权方面有招牌消息14条，专利消息411条，其余企业还具有行政许可201个。
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